39 EUV光刻机（5 / 7）

pplyChain:SettingtheBarHigherfortheHigh-TechIndustry），阿斯麦，https://www.asml.com/en/company/sustainability/responsible-supplychain。采访弗里茨·范霍特，2021年。2013年，范霍特接管阿斯麦EUV光刻业务。对于他来说，EUV光刻系统最关键投资不是某个单部件，而是公司供应链管理技能。范霍特解释道，阿斯麦“像机器样”设计这个商业关系网络，产生个由数千家公司组成能够满足阿斯麦严格要求精细协调系统。他估计，阿斯麦本身只生产EUV光刻机部件15%，其余部分是从其他公司购买。这使得阿斯麦可以获得世界上最精细产品，但它需要不断地监控。

新闻稿：《蔡司和阿斯麦将在21世纪20年代初加强下代EUV光刻合作关系》（PressRelease:ZEISSandASMLStrengthenPartnershipforNextGenerationofEUVLithographyDueinEarly2020s），阿斯麦，2016年11月3日，https://www.asml.com/en/news/press-releases/2016/zeiss-and-asmlstrengthen-partnership-for-next-generation-of-euv-lithography。采访阿斯麦供应商高管，2021年。阿斯麦别无选择，只能依靠单来源获得EUV光刻系统关键部件。为管理这点，阿斯麦深入解其供应商源头，以解风险。阿斯麦以投资形式回报某些供应商，比如2016年支付给蔡司10亿美元，为蔡司研发提供资金。这样，所有供应商都达到严格标准